Clean Room 洁净室，亦名无尘室或清净室，目前已是半导体工业和生物化学、医药、食品界等不可或缺之重要设施。近几年来，由于技术的创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化需求更为迫切，如大型集成电路及极大型集成电路的研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，我国也不例外。然而集成电路与精密轴承、太空航空仪器、光学机械等的精密机械产业，对于空气中的浮游粒子、粉尘等的污染极为敏感，且对于产品的品质、可靠性及优良率高低有着极大的影响。由于以上的产品必须在良好的洁净室内进行生产制造，所以工业用的洁净室在各种产业上已被广泛采用。另一方面在医学上及医疗技术方面，对于手术室、新生儿室、重症监护病房、烫伤病房及冠状动脉监护病房，等场所为达成高度医疗效果，亦需有去除空气中浮游细菌的无菌环境，以维护人员生命安全。其次在制药工作、食品制造业及医疗仪器制造业、生化及细菌培养等为提高产品品质及安全卫生，以去除空气中浮游细菌或微生物与外界异物的干扰侵犯的无菌洁净室亦应运而生。针对集成电路（半导体行业）而言，洁净室最重要的作用在于控制产品（如矽晶片等）所接触之大气的洁净度与温、湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。
洁净室的定义为将一定空间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。
洁净标准与洁净等级
ISO等级序数 |
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值（颗/m3）
|
|
0.1μm
|
0.2μm
|
0.3μm
|
0.5μm
|
1μm
|
5μm
|
|
ISO Class 1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
ISO Class 2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
|
|
|
ISO Class 3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
ISO Class 4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
|
ISO Class 5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
ISO Class 6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
|
ISO Class 7
|
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
|
ISO Class 8
|
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|
ISO Class 9
|
|
|
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
世界各国洁净度等级规格表
国 名 |
美 国
|
美 国
|
日 本
|
英 国
|
德 国
|
法 国
|
澳 洲
|
韩 国
|
中国大陆
|
|
规 格
|
FS 209D
|
FS 209E
|
JIS B9920
|
BS 5295
|
VDI 2083
|
AFN 4410
|
AS 1386
|
KS
|
QJ 2214
|
|
年 度
|
1998
|
1992
|
1989
|
1989
|
1990
|
1981
|
1989
|
1991
|
1991
|
|
基准粒子
(μm)
|
0.5
|
0.5
|
0.1
|
0.5
|
1
|
0.5
|
0.5
|
0.3
|
0.1
0.5
|
|
单 位
|
pcs/ft3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
pcs/M3
|
|
Class
|
—
|
—
|
1
|
—
|
—
|
—
|
—
|
M1
|
0.1μm~1
|
|
—
|
M1
|
2
|
—
|
0
|
—
|
—
|
M10
|
0.1μm~5
|
|
1
|
M1.5
|
3
|
C
|
1
|
—
|
0.035
|
M100
|
0.1μm~10
|
|
10
|
M2.5
|
4
|
D
|
2
|
—
|
0.35
|
M1000
|
1
|
|
100
|
M3.5
|
5
|
E or F
|
3
|
4,000
|
3.5
|
M10000
|
100
|
|
1000
|
M4.5
|
6
|
G or H
|
4
|
—
|
35
|
M100,000
|
1,000
|
|
10,000
|
M5.5
|
7
|
I
|
5
|
400,000
|
350
|
M1,000,000
|
10,000
|
|
100,000
|
M6.5
|
8
|
J
|
6
|
4,000,000
|
3500
|
M10,000,000
|
100,000
|
|
—
|
M7
|
—
|
K
|
7
|
—
|
—
|
—
|
—
|
|
—
|
—
|
—
|
L
|
—
|
—
|
—
|
—
|
—
|
*以0.5μm为区别。
保证洁净度等级的换气指数
ISO14644分级 |
对应传统规格
|
平均风速m/s
|
换气次数
|
末端过滤器
效率
|
国内习惯换气次数
|
|
ISO 1级
|
|
|
360～600
|
≥99.9999%
|
|
|
ISO 2级
|
|
0.305～0.508
|
360～600
|
≥99.999%
|
|
|
ISO 3级
|
1
|
0.305～0.457
|
360～540
|
≥99.9999%
|
|
|
ISO 4级
|
10
|
0.254～0.457
|
300～540
|
≥99.999%
|
|
|
ISO 5级
|
100
|
0.203～0.406
|
240～480
|
≥99.97%
|
150～300
|
|
ISO 6级
|
1,000
|
0.127～0.203
|
150～240
|
≥99.97%
|
50～100
|
|
ISO 7级
|
10,000
|
0.051～0.076
|
60～90
|
≥99.97%
|
≥20
|
|
ISO 8级
|
100,000
|
0.005～0.041
|
5～48
|
≥99.97%
|
≥15
|
|
ISO 9级
|
|
|
|
|
|
